自動ウェハーマクロ検査装置

iFocus

装置説明

CCTECH-STIのOn-The-Flyi(OTF™)システムを採用したFocusはウェハーを高精度に検査できるウェハマクロ検査装置です。撮像カメラを２台使用することで、特許取得済みの同時デュアルイメージキャプチャリング技術により、高スループットを維持したまま、異物混入、欠陥部分の検査を可能にします。２D、３D検査を可能にし、半導体チップに形成された接触電極のバンプのコプラナリティの検査にも対応しております。

主な機能

● ２本の搬送アームを採用することにより、高スループットを実現
● 撮像カメラを２台使用することによりタクトタイムを大幅に削減
● Z方向分解能、0.7umを可能にした３D検査ユニット
● 明視野、暗視野の同時検査
● カラーレビュー機能搭載、明暗視野のイメージを保存、焦点の異なる画像の検査が同時に可能

※詳細は別途お問合せください。