自動ウェハーマクロ検査装置
PRESTIGE II
装置説明
PRESTIGE IIはウェハの欠陥、露光時に発生するウェハー上のムラを同時に検出する半導体のウェハーマクロ検査装置です。カメラアングルを自由に設定することにより、明視野、暗視野の見れる範囲を可変にします。オプション機能により、１度の検査工程で、表裏、両方を検査を可能にし、目視検査から自動検査に切り替えることにより、人為的なミスを防ぎ、作業の効率化につながります。
主な機能
● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能を用意、幅広い検査に対応
● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適照明
● カメラアングル可変式を採用、明視野～暗視野像の検査
● 欠陥検査とムラ検査が同時処理
● 6/8/12インチ対応
● オプション機能により、ウェハ裏面検査に対応
※詳細は別途お問合せください。