プローバー

CP12

装置説明

従来のサイズから小型化を求めた省スペースタイプのプローバーになります。スループットの大幅な改善と光学の技術によるウェハーアライメント、また、テストアプリケーションを介し、プローバー機能とテスト機能に効率よくアクセスすることにより、ソフトウェアの開発期間を大幅に短縮します。

主な機能

● プローバー寸法：1,620x1,240 mm（2.01㎡）
● 対応ウェハー：8", 12"
● 対応ダイサイズ：350um ~ 76,000um
● プロービングエリア：±170mm（-155mm-200mm）
● インデックスタイム：250ms (6x6mmダイサイズ時）
● スループット改善のためのプリアライメントとOCRユニット搭載
● デジタルズームカメラ搭載
● APC (Auto Probe Changer)　
● Class 10 対応

※詳細は別途お問合せください。