研究開発概要

５G通信技術が産業、医療、自動運転等、幅広い分野に進出し、日々新しいアプリケーションが発表されております。それに伴い様々な半導体製品が創出され、活躍します。この分野では、多彩な検査技術が求められており、弊社の製品ロードマップに則した要素技術開発を行います。また、これら要素技術を応用し、お客様毎のご要望に応える努力を致します。

弊社がこれまで培った技術分野、（即ち、半導体テスター、ハンドラー、外観検査装置をはじめとする半導体後工程の検査装置と、前工程のウェーハ外観検査装置）を研究開発の主軸としております。また、携帯電話の指紋センサーやカメラモジュールの検査装置など種々のセンサーの検査装置も重要な研究開発課題であります。

弊社では、各分野にエキスパートを配置し、製品ロードマップに対応した要素技術の充実を図っております。精密機械、モーションコントロール、位置合わせ技術、光学、画像処理、画像解析、温度・気圧制御、高周波回路技術、プラズマ技術、レーザー技術、品質管理、等がそれにあたります。これら多彩な要素技術を駆使して、お客様の要求に応えることを使命としております。

開発拠点は、光学系、画像処理系の実験設備や設計ツール、シミュレーション・ツール等、比較的小型の開発設備を有する研究室と、クラス１０００のクリーン・ルームを有する開発センターでは、ウェーハ外観検査装置をはじめとする比較的大掛かりなハードウェアの開発やデモを行っております。