自動ウェハーマクロ検査装置
PRESTIGE V
装置説明
PRESTIGE Vは既存PRESTIGE IIの廉価版製品。装置のサイズを50%ダウンし、省スペース化しました。カメラアングルは評価段階で設定し、工場出荷時に固定し、ウェハサイズに制限はあるものの検査機能はPRESTIGE IIを継承した廉価版製品になります。
主な機能
● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能を用意、幅広い検査に対応
● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適照明
● カメラアングルを評価時に設定、装置を小型化
● 欠陥検査とムラ検査が同時処理
● 6/8インチ対応
※詳細は別途お問合せください。